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      鈦靶

      鈦靶

      • 所屬分類:鈦靶
      • 瀏覽次數:
      • 發布日期:2020-09-07 09:51:53
      • 產品概述
      • 性能特點
      • 技術參數

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      純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應用中,對靶材的純度要求也不盡相同。例如,隨著微電子行業的迅速發展,硅片尺寸由6”, 8“發展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求,而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。

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